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產(chǎn)品中心
P產(chǎn)品分類RODUCT CATEGORY
概倫電子 FS800 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是新一代半導(dǎo)體器件電學(xué)特性分析設(shè)備，具有功能全面配置靈活等特點，在一臺設(shè)備中實現(xiàn)了電流電壓（IV）測試、電容電壓（CV）測試、快速波形發(fā)生與測試、低頻噪聲測試以及高速時域信號采集，可廣泛應(yīng)用于新材料和新器件研究、電性參數(shù)測試、器件模型數(shù)據(jù)測試、可靠性測試等領(lǐng)域。
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2026-04-07訪 問 量：91
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概倫電子 FS800 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀介紹：
FS800 器件參數(shù)分析儀是概倫電子的新一代半導(dǎo)體器件電學(xué)特性分析設(shè)備，具有功能全面配置靈活等特點，在一臺設(shè)備中實現(xiàn)了電流電壓（IV）測試、電容電壓（CV）測試、快速波形發(fā)生與測試、低頻噪聲測試以及高速時域信號采集，可廣泛應(yīng)用于新材料和新器件研究、電性參數(shù)測試、器件模型數(shù)據(jù)測試、可靠性測試等領(lǐng)域。
該設(shè)備擁有直觀的 18.5 英寸觸摸屏界面，采用自主研發(fā)的測試硬件架構(gòu)和數(shù)據(jù)總線，高效可擴展的半導(dǎo)體表征系統(tǒng)主機可配備高達 24 個自研高精度 SMU、或 132 通道的低漏電矩陣開關(guān)。同時可基于需要選配快速波形發(fā)生與測試套件和高精度 LCR 模塊，通過單臺設(shè)備提供各類晶圓級電性參數(shù)自動化測試解決方案。儀器內(nèi)置的 LabExpress 測試軟件配備豐富的內(nèi)置測試算法庫，可高效協(xié)同控制概倫測試設(shè)備、第三方儀表、半自動和全自動探針臺等設(shè)備。
FS800 全面而靈活的測試分析能力可極大地加速半導(dǎo)體器件與工藝的研發(fā)評估進程，滿足各類半導(dǎo)體實驗室和產(chǎn)線測試需要。
應(yīng)用領(lǐng)域：
• CMOS 參數(shù)測試
- MOSFET 與 BJT 晶體管參數(shù)測試
- 二極管與 PN 結(jié)參數(shù)測試
- MEMS 與傳感器參數(shù)測試
• 新材料新器件參數(shù)測試
- 薄膜晶體管、顯示器件參數(shù)測試
- 二維材料、光電探測器參數(shù)測試
- 非易失性存儲器與材料參數(shù)測試
- 神經(jīng)形態(tài)器件、憶阻器等參數(shù)測試
- 柔性電子器件、可穿戴電子器件參數(shù)測試
• 半導(dǎo)體器件特性分析
• 半導(dǎo)體器件建模
• 半導(dǎo)體器件可靠性測試
• 產(chǎn)線測試
• 高效率可擴展的硬件平臺
- 自主研發(fā)的測試硬件架構(gòu)和數(shù)據(jù)總線
- 可支持高達 24 個 SMU，或 132 通道的矩陣開關(guān)
- 可同時支持 SMU 和矩陣開關(guān)模塊，在單臺臺式設(shè)備內(nèi)實現(xiàn)晶圓
級電性參數(shù)的自動化測試
- 支持多通道并行測試和多點位并行測試
- 可擴展 GPIB 接口
- 可擴展 PXI 機箱
• FS810 高精度 SMU
- 0.1fA 高分辨率
- 最高電流測試精度可達 15fA
- 最大電壓 200V，最大電流 1A，最大直流功率 20W
- 1.5MS/s 采樣率的時域信號采集
• FS821 低漏電矩陣開關(guān)輸出模塊
- 12 個三同軸輸出接口
- 200V 負載電壓，1A 負載電流
- 100fA 偏移電流
- 30MHz 帶寬
• FK401B 快速波形發(fā)生與測試套件
- 2 個快速 IV 通道，最大電壓 10V，最大電流 10mA
- 100MS/s 采樣率的高速時域信號采集
- 快速脈沖 IV 測試，最小脈沖寬度 130ns
- 支持 SMU 直通
- 可擴充至最多 5 個模塊（10 通道）
• FS338/FS339 高精度 LCR 模塊
- 40V 直流偏壓范圍
- FS338 帶寬：20Hz~2MHz
- FS339 帶寬：20Hz~10MHz
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